成都西沃克真空科技有限公司

类金刚石硬碳膜镀膜机

日期:2017-11-20 / 人气: / 来源:CVAC

※ 用途  Usage :
 
 ◆ 主要用于在玻璃、硅、锗表面镀类金刚石碳膜(DLC膜)。
 ›  Mainly used for coating diamond like carbon film (DLC film) on glass, silicon and
germanium.

※ 创新发明 Innovative invention:
 
 ◆ 类金刚石碳膜沉积装置(六项国内专利):便于清理,膜厚均匀,重复性好。
  ›  Diamond-like carbon film deposition device (Six domestic patents): Easy to
Clean, film thickness uniformity, good repeatability

※ 设备特点 Features:

  ◆ 全自动化控制系统,实现全自动化无值守操作;
  ›  Fully automated control system, to achieve full automatic unattendedoperation;
  ◆ 真空室形式:卧式顶盖升降,室体前开门;
  ›  Vacuum chamber form: horizontal roof lift, front door;
  ›  设备总高Equipment total height≤2.2m;
  ›  真空室内腔尺寸Vacuum chamber cavity size:≥Φ700mmXΦ500mm;
  ›  极限压力Limit pressure:≤8×10-5Pa;
  ›  抽气时间Pumping time:3.0×10 10 -3Pa≤15min;
  ›  样品台尺寸Sample table size:直径不小于(Diameter of not less than)Φ450mm;

作者:CVAC


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